气敏薄膜传感器SnO2:Sb的制备及性能研究

被引：9

作者：

朱大奇

刘祖黎

机构：

[1] 华东冶金学院

[2] 华中理工大学

来源：

仪表技术与传感器 | 1998年 / 09期

关键词：

等离子体化学气相沉积,气敏薄膜传感器,气敏性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

利用等离子体化学气相沉积制备了ＳｎＯ２∶Ｓｂ导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对ＮＯ２气体的气敏性，并进行了理论分析。

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