小深孔内径电容传感测量系统的研究

被引：13

作者：

徐安桃 ^{[1
]}

付敬业 ^{[2
]}

郑义忠 ^{[3
]}

叶声华 ^{[3
]}

机构：

[1] 天津大学

[2] 军事交通学院汽车系

[3] 天津大学测量技术与仪器国家重点实验室

来源：

传感技术学报 | 2006年 / 06期

关键词：

小深孔; 电容传感器; 传感器标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器]; TP274.4 [];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

采用电容传感器测量小深孔的孔径,该系统使用直径较小的电容探针作为传感器件,电容仪器将孔径的变化转换为电压的变化,并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理.论述了电容传感器的工作原理和电容仪器的转换电路的基本原理,设计了电容传感器测量小盲深孔孔径系统的总体方案,特别使用小于Φ3而大于Φ1深孔的内径自动检测,并对Φ3和7mm孔径进行了实际测量,并分析了测量所得到的数据,多次测量的标准差小于0.5μm,测量分辨率为0.05μm.

引用

页码：2460 / 2463

页数：4

共 4 条

[1]

薄孔壁厚和小孔径测量系统 [J].