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表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状
被引：53
作者：
高志山
陈进榜
机构：
[1] 南京理工大学电光学院!南京
来源：
关键词：
干涉显微镜;
干涉检验;
微观形貌;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
080401 [精密仪器及机械];
摘要：
追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展 ,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点 ,分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。
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