基于输入解耦的6DOF磁悬浮平台悬浮高度的H∞控制

介绍一种应用于半导体光刻、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台——六自由度(6DOF)磁悬浮平台。针对该平台的悬浮部分是一个具有参数摄动、输入耦合的复杂系统,提出一种先在输入解耦基础上,再对系统参数扰动采取H∞鲁棒控制方法,最后实现对位置、摆角的闭环控制,该方法易于工程实现和构成闭环系统。仿真结果表明此控制方案有较好的动态、静态特性及鲁棒性。