光针式轮廓仪的研制

被引：6

作者：

谢峰

李建林

谢铁邦

李柱

机构：

[1] 华中理工大学

来源：

关键词：

表面形貌,非接触测量,聚焦探测,伺服控制;

D O I：

10.16428/j.cnki.cn11-4827/t.1999.02.003

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪，该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量，其最大测量范围为５００μｍ，最小分辨率可达１０ｎｍ。文中详细地描述了该轮廓仪的工作原理、关键技术的实现及其应用。

引用

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