矩形离轴非球面反射镜的数控加工

被引：12

作者：

郑立功

张学军

张峰

不详

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心

[2] 吉林大学吉林长春

[3] 吉林长春

[4] 吉林长春

来源：

光学精密工程 | 2004年 / 01期

关键词：

非球面加工; 离轴非球面; 计算机控制光学表面; 虚拟加工;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG659 [程序控制机床、数控机床及其加工];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

针对离轴TMA结构空间相机中使用的两块离轴非球面反射镜的加工过程,提出了一种新型的矩形离轴非球面的最接近球面半径的求解及其优化方法,并且开发了基于计算机虚拟加工技术的CCOS工艺参数计算方法。被加工工件分别为165mm×100mm的矩形凸面离轴非球面和770mm×200mm的矩形轻量化凹面离轴非球面,设计精度分别为任意100mm,200mm子孔径面形精度优于0.025λRMS(λ=632.8nm)。经检验,工件的加工精度满足了设计要求,分别达到了0.023λRMS和0.013λRMS。

引用

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