相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法

被引：4

作者：

郭红卫

陈明仪

不详

机构：

[1] 上海大学精密机械工程系!上海嘉定

来源：

光学精密工程 | 2000年 / 02期

关键词：

相移干涉术; 相移误差; 最小二乘解; 迭代法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

相移器的相移误差包括平移误差与倾斜误差 ,使同一幅干涉图诸像素点的相移量并不相等 ,但仍然在同一平面上。据此 ,本文提出了消除相移器位移误差与倾斜误差的最小二乘迭代算法。通过对相移平面的最小二乘拟合 ,即可以消除相移器平移误差与倾斜误差对位相分布求解结果的影响。并通过数值模拟 ,验证了这种算法在消除相移器位移误差与倾斜影响上的有效性

引用

页码：185 / 188

页数：4

共 4 条

[1]

Simultaneous calculation of phase distribution and scanning phase shifting interferometry. Okada Katsuyuki,Atsushi Sato,Jumpei Tsujiuchi. Optics Communication . 1991

[2]

General algorithm of phase-shifting interferometry by iterative least -squares fitting. In-Bok Kong,Kim Seung-Woo. Optical Engineering . 1995

[3]

Least -squares estimation in phase-measurement interferometry. Morgan C J. Optics Letters . 1982

[4]

Portable inspection of precision surfaces by phase-shifting interferometry with automatic suppression of phase-shift errors. In-Bok Kong,Seung-Woo Kim. Optical Engineering . 1995

← 1 →