硅微机械陀螺的接口检测技术

被引：4

作者：

李万玉

阮爱武

罗晋生

冯培德

机构：

[1] 航空工业总公司第６１８研究所

[2] 西北工业大学自动控制系

[3] 西安交通大学电子与信息学院

来源：

关键词：

微机械陀螺,寄生电容,积分电路,电荷注入,相关双采样技术;

D O I：

10.13873/j.1000-97871999.03.012

中图分类号：

TH824.3 [];

学科分类号：

摘要：

研究了微陀螺的电容变化率为１０－７～１０－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。

引用

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