PZT薄膜的MOD制备及形成机理研究

被引：4

作者：

包定华

张良莹

姚熹

机构：

[1] 西安交通大学电子材料与器件研究所

来源：

关键词：

锆钛酸铅薄膜，金属有机物热分解，形成机理，晶粒生长;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1998.05.007

中图分类号：

TQ174.758 [];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

采用金属有机物热分解（ＭＯＤ）工艺在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）薄膜．ＸＲＤ分析显示薄膜结晶状况良好，无焦绿石相存在．ＡＥＳ测量表明：薄膜成分沿膜厚均匀分布，膜中无碳存在，表面不富含铅．分析了薄膜的形成机理，定性地解释了晶粒的生长过程．

引用

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