非线性小数重合法及其在轮廓测量中的应用

被引：20

作者：

郝煜栋

赵洋

李达成

机构：

[1] 清华大学精密仪器系!精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,清华大学精密仪器系!精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,清华大学精密仪器系!精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京

来源：

关键词：

小数重合法; 轮廓测量; 叠相还原;

D O I：

暂无

中图分类号：

O438 [信息光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

叠相还原的困难是光栅投影式轮廓测量技术中影响可靠性和阻碍自动化测量的最大问题。本文提出了一种新型的时域叠相还原算法非线性小数重合法，这种新方法可以将可靠测量范围扩大数十倍，而不失测量精度。文中详细论述了非线性小数重合法的原理，并给出了复杂轮廓的可靠测量的实验结果。

引用

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