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多弧离子镀TiN装饰膜表面颗粒研究
被引：6
作者：
杨建宏，周伟，杨型健
机构：
[1] 太原重型机械学院
来源：
关键词：
多弧离子镀，颗粒，TiN装饰膜;
D O I：
10.13385/j.cnki.vacuum.1995.01.005
中图分类号：
TG174.44 [金属复层保护];
学科分类号：
080503 ;
摘要：
多弧离子镇生产的ＴｉＮ装饰膜表面含有一定数目的颗粒。严重影响着膜层色泽、光洁度、孔隙度及耐腐性、实验表明：“二次辉光”的改进工艺，可以有效地减少表面颗粒数目，改善膜层质量。
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