用衍射光栅进行精密位移检测

<正> 一、前言激光干涉测长仪能够达到0.1μm以上的检测精度,但该装置有结构复杂、体积大和造价昂贵的缺点:光电式体积小、造价低,但因受产生光衍射现象的光栅栅距的限制,精度在0.5μm以下。而且,用光电式线性刻度进行非接触检测时,测量部分必须非常接近移动的线性刻度,使用上受到限制。