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干涉光杠杆测量原理及应用
被引：2
作者：
刘兵
史广安
机构：
[1] 山东纺织工学院
来源：
关键词：
干涉;
光杠杆;
测量;
微小位移;
D O I：
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.1993.06.009
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文分析了用激光干涉法,使用光杠杆的测微原理,这种测微原理具有精度高、测量快、实时显示的特点,对检测高乎整度器件有广泛的应用。
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