CMOS风速风向传感器的设计

被引：4

作者：

程海洋

秦明

高冬晖

机构：

[1] 东南大学MEMS教育部重点实验室

[2] 东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京

[3] 江苏南京

来源：

传感器技术 | 2005年 / 05期

关键词：

恒温差; 风速风向传感器; 热损失;

D O I：

10.13873/j.1000-97872005.05.012

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍了一种CMOS(互补MOS)集成风速风向传感器,使用恒温差(CTD)控制模式将芯片加热,使其中间加热区域的温度高于周围环境(风)温度一定值。该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向。采用4个串联的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法简单、新颖。在简单阐述CMOS硅热流量传感器的工作原理和结构之后,主要介绍驱动和信号读取电路。经过风洞测试,传感器能够测量风速0～23m/s,具有良好的线性度和灵敏度,同时,传感器360°内方向敏感。

引用

页码：34 / 36

页数：3

共 5 条

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