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掠入射X射线衍射在表面、界面和薄膜材料结构研究中的应用
被引：4
作者：
崔树范
机构：
[1] 中国科学院物理研究所北京
来源：
关键词：
纳米结构;
表面和界面;
掠人;
衍射强度;
射线衍射;
掠入射;
原子层;
同步辐射;
磁轫致辐射;
轫致辐射;
GaAs;
形貌术;
布拉格衍射;
散射技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
掠入射Ｘ射线衍射是８０年代以来发展的一种新的结构分析技术．其贯穿深度小，信噪比高，分析深度可以控制，因而适用于对表面或界面重构、多层膜和超晶格结构分析．简要介绍掠入射Ｘ射线衍射有关理论和方法及其应用．
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