多弧离子镀TiN低温涂层的研究

研究了在多弧离子镀设备中，在低温（350℃以下）沉积的TiN涂层的特点、性能及应用。经X射线衍射分析和扫描电镜观察电子探针等测定，低温TiN涂层具有单相TiN结构，涂层表面有粒度大小不一的颗粒，断口呈细密纤维形貌。低温TiN涂层有良好的耐磨性和使用性能。