镧钛酸铅铁电薄膜的快速热处理研究

被引：6

作者：

吴小清

任巍

刘芸

张良莹

姚熹

机构：

[1] 电子与信息工程学院

来源：

西安交通大学学报 | 1995年 / 09期

关键词：

快速热处理; 铁电薄膜; 钙钛矿结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM223 [];

学科分类号：

摘要：

以不同热处理温度和保温时间的组合条件，对在不同种基片上制备的镧钛酸铅薄膜进行了快速热处理．主要研究了快速热处理工艺对薄膜相结构、化学组成、形貌的影响，并给出了典型样品的介电和铁电性能．实验结果表明：在较宽的热处理温度（５００～７５０℃）和保温时间（６～３６０ｓ）范围内，都可得到无裂纹、均匀致密、晶粒大小约２０ｎｍ的纯钙钛矿结构薄膜；不同的基片对薄膜的结晶有不同的影响；铂电极有利于薄膜结晶．在７００℃保温６０ｓ的样品，１ｋＨｚ时介电常数约３００，介质损耗角正切不大于２％，剩余极化强度Ｐｒ＝５．２ μｃ／ｃｍ２，矫顽场强Ｂｃ＝１１０ｋＶ／ｃｍ．

引用

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页数：8

共 7 条

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