大曲率光学零件面形的空间载频外差干涉术检测

被引：4

作者：

刘贱平 ^{[1
]}

梁丽萍 ^{[1
]}

金世龙 ^{[1
]}

刘光灿 ^{[2
]}

机构：

[1] 国防科学技术大学光电科学与工程学院

[2] 长沙学院电子与通信工程系

来源：

红外与激光工程 | 2009年 / 01期

关键词：

大曲率球面面形检测; 空间载频外差干涉术; Zernike多项式;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

摘要：

光学零件表面面形检测的结果直接影响光学零件的质量,介绍了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法,通过对干涉图进行预处理、FFT提取相位、解包裹,并采用Zernike多项式拟合,得到被检球面相对平面的面形函数,与指定的球面相减后,再一次进行Zernike多项式拟合,得到了被检面相对于指定球面的面形函数,由此计算出被检球面的面形误差PV值、RMS值,N与△N,并模拟出了用球面干涉仪检测时的干涉条纹。该方法克服了接触检测的缺点,精度高,PV值的标准差σ优于λ/100,RMS值的标准差σ优于λ/700,而且可通过软件设定检测任意大曲率光学零件,为大曲率半径光学零件的检测提供了一种适用的方法。

引用

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