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微机械及微细加工技术
被引：15
作者：
苑伟政
李晓莹
机构：
[1] 西北工业大学微型智能结构与微细加工技术研究室
来源：
关键词：
微机械,微细加工,技术;
D O I：
10.13433/j.cnki.1003-8728.1997.03.028
中图分类号：
TH16 [机械制造工艺];
学科分类号：
0802 ;
摘要：
介绍了微机械的概念，微机械的研究内容以及目前微机械产品的发展现状，特别着重介绍了目前微机械微细加工的方法。
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页数：6
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