20单元双压电片变形反射镜的影响函数有限元分析和实验测量

被引：13

作者：

宁禹 ^{[1
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周虹 ^{[2
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官春林 ^{[2
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饶长辉 ^{[2
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姜文汉 ^{[2
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机构：

[1] 国防科学技术大学光电科学与工程学院

[2] 中国科学院光电技术研究所

来源：

光学学报 | 2008年 / 09期

关键词：

自适应光学; 双压电片变形反射镜; 影响函数; 有限元法; 泽尼克拟合;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP211 [一般自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

影响函数是分析双压电片变形反射镜像差校正能力的重要参量,通过建立有限元模型预测实际器件的影响函数,以有限元模型的不断优化替代实际器件的尝试性改进,可以减小构造的盲目性,从而节约研发成本,缩短双压电片变形镜的实用化进程。采用Veeco干涉仪测量了20单元双压电片变形反射镜的影响函数,同时建立有限元模型进行了相应计算,并将计算结果与实际器件的测量数据进行了对比分析。结果表明,相对于实测数据而言,有限元模型计算得出的影响函数在量值上略有偏小,但其形状和峰值位置与测量数据一致性好,两者对前35项泽尼克像差的拟合曲线也基本吻合,各项拟合误差系数之差皆小于0.1。这说明通过不断改进有限元模型实现对实际器件的优化设计是切实可行的。

引用

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页数：5