大型非球面反射镜的柔性光学制造技术

被引:9
作者
杨力
郑耀
曾志革
姜文汉
袁家虎
伍凡
机构
[1] 中国科学院光电技术研究所
关键词
柔性光学制造技术(FOMT); 计算机控制小工具抛光(CCOS); 计算机控制应力盘(CCSL);
D O I
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2001.06.004
中图分类号
TH706 [制造工艺];
学科分类号
摘要
提出了柔性光学制造技术 (FOMT)的概念。介绍了计算机控制小工具抛光 (CCOS)和计算机控制应力盘(CCSL)抛光的技术特点 ;讨论了CCOS在抛光过程中的工艺技术优化方案 ;给出了应力盘变形的数学物理模型及在周边 12个驱动器的作用下应力盘全口径和 80 %口径范围内的变形仿真结果 ;研究了在全口径 φ5 0 0mm盘上的工程实现途径及应力盘与机床CNC的通讯关系以及抛光工艺研究 ;分析了CCOS、应力盘抛光和经典法抛光技术的综合运用 ;探讨了柔性光学制造技术发展的必然趋势。
引用
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