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- [1] The Scattering of Electromagnetic Waves Form Rough Surfaces. Beckmann P,Spizzichino A. . 1963
超高反射率的激光反射镜制造中的波度
被引：4
作者：
滕霖
任敬心
机构：
[1] 西北工业大学制造工程系
来源：
关键词：
反射镜基片;
表面波度;
波度形成;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5～30nm,波距为100～150μm。还分析了古典抛光法表面波度的形成规律,并给出了实测结果。
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