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压电陶瓷微位移驱动器概述
被引：14
作者：
陈大任
机构：
[1] 中科院上海硅酸盐研究所
来源：
关键词：
压电陶瓷，微位移驱动器，应用，发展;
D O I：
10.14106/j.cnki.1001-2028.1994.01.001
中图分类号：
TP211.5 [];
学科分类号：
摘要：
利用压电陶瓷的逆压电效应，可制成微位移驱动器。对该类器件的性能特点、分类、应用概况，压电陶瓷材料本质对该器件性能的影响，材料的选择及发展趋势等方面进行了介绍。
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