半导体材料稀土掺杂的理论及应用

被引:3
作者
屠海令
机构
[1] 北京有色金属研究总院
关键词
硅,砷化镓,磷化铟,稀土掺杂方法,光电器件;
D O I
10.13373/j.cnki.cjrm.1996.01.016
中图分类号
TN305.3 [掺杂];
学科分类号
摘要
近年来,稀土掺杂导体材料已成为引人注目的研究课题。本文阐述了硅和主要Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中掺杂的原理、掺杂方法;材料的制备及其电学、光学性质,并简要介绍了目前稀土掺杂半导体材料在光电器件方面的应用结果。
引用
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