针尖扫描原子力显微镜的光点跟踪设计

被引：5

作者：

杨金涛

徐文东

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所先进激光技术与应用系统实验室

来源：

中国激光 | 2006年 / 01期

关键词：

仪器; 原子力显微镜; 针尖扫描; 光点跟踪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

提出了一种用于针尖扫描原子力显微镜(AFM)的光点跟踪设计方案,结构简单,容易实现。设计方案对扫描器的负载能力要求不高,而且能使原子力显微镜实现较大范围的针尖扫描。实验结果表明,采用此光点跟踪设计方案的针尖扫描原子力显微镜能实现最大100μm×100μm范围的扫描,z方向上的误差最大1 nm,能很好地满足大样品扫描的需要。

引用

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