一维深亚波长光栅的耦合波分析及偏振特性的研究

被引：16

作者：

袁惠

周进

王晓伟

黄信凡

机构：

[1] 南京大学物理系

[2] 南京大学物理系江苏南京

[3] 江苏南京

[4] 江苏南京

来源：

关键词：

一维深亚波长光栅; 严格耦合波分析; 偏振特性;

D O I：

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中图分类号：

TH741.6 [];

学科分类号：

摘要：

讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成。简单介绍了这种深亚波长光栅的制作方法。采用严格耦合波分析(RCWA)理论计算了这种一维深亚波长光栅的衍射效率,分析了它的偏振特性。

引用

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