液晶空间光调制器用于波前校正的研究

被引：13

作者：

张洪鑫 ^{[1
,2
]}

张健 ^{[1
]}

吴丽莹 ^{[1
]}

向杰 ^{[1
]}

机构：

[1] 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

[2] 哈尔滨理工大学机械动力工程学院

来源：

红外与激光工程 | 2008年 / 06期

关键词：

波前校正; 液晶; 空间光调制器; 相位调制特性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN761 [调制技术与调制器];

学科分类号：

080902 ;

摘要：

为了提高液晶空间光调制器用于波前校正的精度,测试了美国BNS公司反射式256×256像素纯相位液晶空间光调制器。由于非线性相位响应特性会降低该器件用于波前校正的性能,因此通过反插值法将相位调制曲线的非线性度减小到原来的1/8,建立了0～2π区间内相位与灰度之间的线性关系。以液晶空间光调制器作为波前校正器,数字相移干涉仪作为波前传感器,对含有高频误差的不规则波面进行了测量和误差校正。畸变波前的峰谷值(PV)由校正前的0.78λ减小到校正后的0.27λ,均方根(RMS)由校正前的0.13λ减小到校正后的0.02λ。实验结果表明:液晶空间光调制器能够代替传统的变形镜,实现低成本、高分辨、高精度的波前校正。

引用

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