未找到相关数据
MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战略的思考
被引：34
作者：
孙立宁
周兆英
龚振邦
机构：
[1] 国家“”计划机器人技术主题专家组
来源：
关键词：
微型加速度计;
重点实验室;
消费电子;
纳米加工技术;
表面牺牲层技术;
加工工艺;
加工技术;
制造基地;
研发体系;
重大专项;
MEMS;
D O I：
暂无
中图分类号：
F426.6 [];
学科分类号：
020205 ;
0202 ;
摘要：
引用
收藏
页码：2 / 4
页数：3
相关论文