金属硅化物的应用与发展

被引：30

作者：

马勤

阎秉钧

康沫狂

杨延清

机构：

[1] 甘肃工业大学,西北工业大学

来源：

稀有金属材料与工程 | 1999年 / 01期

关键词：

金属硅化物,合金化,复合材料,应用;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ127.2 [硅及其无机化合物];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

回顾了金属硅化物在电热元件、高温抗氧化涂层以及集成电路电极薄膜等功能元器件方面的应用、存在的问题和改进的措施，并介绍了高温结构材料的应用研究现状和发展趋势

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