物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究进展

被引：14

作者：

胡树兵

崔崑

机构：

[1] 华中科技大学材料科学与工程学院

[2] 华中科技大学材料科学与工程学院 (武汉)

[3] (武汉)

来源：

关键词：

TiN; 多元涂层; 多层涂层;

D O I：

10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2001.10.011

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

综述了近年来物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究 ,并指出通过合理的多元和多层涂层设计 ,TiN多元涂层和多层涂层能克服单一TiN涂层的不足 ,综合不同组元和不同单层的优势 ,从而获得优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温性能 ,是今后物理气相沉积技术极有潜力的发展方向之一

引用

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