基于微机电系统的振动能量采集器件设计分析

被引：20

作者：

李林 ^{[1
]}

郭隐彪 ^{[1
]}

陈旭远 ^{[2
]}

机构：

[1] 厦门大学机电工程系

[2] 厦门大学萨本栋微机电中心

来源：

机械工程学报 | 2009年 / 45卷 / 09期

关键词：

微能量采集器; 功函数; 微机电系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP211.4 [];

学科分类号：

摘要：

微能量采集器中电容式采集器易与IC工艺集成,目前已知的传统电容式微能量采集器都需要外加电压,这在很大程度上限制电容式微能量采集器的实际使用。针对该问题,基于微机电系统工艺,提出功函数原理电容式微能量采集器,给出采用两种不同金属作为电容极板电极的采集器原理模型设计,并建立相应系统数学模型,计算大致悬臂梁长度的设置与范围,使用有限元模拟软件ANSYS进行进一步分析与优化设计。在此理论基础上设计出的新型振动能量采集器,可克服传统电容式微能量采集器需要外界提供电源这一缺点。

引用

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