Power ME MS研究现状及展望

被引：6

作者：

甘霖

李伟

杨灿军

刘宜胜

宋瑞银

黎嘉杰

机构：

[1] 浙江大学流体传动及控制国家重点实验室

[2] 浙江大学流体传动及控制国家重点实验室杭州

[3] 杭州

来源：

机床与液压 | 2004年 / 09期

关键词：

PowerMEMS; MEMS; 电源;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN42 [微模组件];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

归纳了PowerMEMS研究的现状 ,分析了该领域尚待解决的关键问题 ,并对其今后的发展前景给予展望

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