静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计

被引：9

作者：

唐富荣

薛大同

机构：

[1] 中国空间技术研究院兰州物理研究所!甘肃兰州

来源：

关键词：

电悬浮; 加速度传感器; 分辨力;

D O I：

10.13873/j.1000-97872001.07.009

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

摘要：

从静电悬浮式加速度传感器的工作原理出发 ,针对航天器上的微重力水平 ,初步设计了高灵敏静电悬浮式加速度传感器 ,其测量量程设计为 30 μgn,分辨力为 1ngn,并对其误差来源及减少误差的措施进行了分析。

引用

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共 5 条

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