发明专利申请中的集成电路碳纳米管互连技术

被引：2

作者：

陈冠源

机构：

[1] 国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心

来源：

关键词：

集成电路; 互连; 碳纳米管;

D O I：

10.16589/j.cnki.cn11-3571/tn.2014.12.091

中图分类号：

TN405.97-18 [];

学科分类号：

摘要：

本文分析了2011年至今已公开的集成电路碳纳米管互连技术的国内发明专利申请,对上述专利申请进行了技术分类,介绍了碳纳米管互连技术的研究和在产业上的应用情况;本文最后还对碳纳米管互连技术的发展前景进行了展望。

引用

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