聚乙炔的离子注入法掺杂

<正> 离子注入是一种物理摻杂方法,在半导体器件的制备中已得到广泛的应用,它与常规的化学、电化学或热扩散掺杂相比具有一些特点:可以通过质量分析器选取单一的注入离子,故掺杂杂质的纯度高;根据注入离子的剂量和能量,精确控制到掺人杂质的数量和深度等等。近年来,采用离子注入技术进行掺杂,改变聚合物或其它绝缘材料表面性质的研究已逐步引起重视真视。