离子束混合Mo膜的结构和摩擦学性能

应用离子束混合的方法在GCr15轴承钢底材上制备了Mo薄膜。对Mo膜的元素组成和分布、显微组织形态、相结构以及元素化学态应用俄歇光电子能谱(AES)、透射电子显微镜(TEM)、X-光电子能谱(XPS)剖面分析等方法进行了系统的分析和考察。对Mo膜的显微硬度进行了测量和分析。对镀膜前后材料的磨损性能进行了比较。结果表明,Mo膜系由Mo、MoC纳米微晶构成,MoC微晶相弥散在Mo膜层内。X-光电子能谱深度分析表明,用IBM方法制备的Mo膜,Mo、MoC相弥散在Fe基内。硬度实验显示Mo膜具有较高的显微硬度,这主要归因于Mo膜内晶粒细化和MoC硬质相弥散强化共同作用的结果。摩擦试验显示离子束混合表面改性Mo膜具有较好的抗磨性,其磨损率为底材的1/5。