基于跳变线估测的相位包裹去除法

被引：2

作者：

惠梅

邓年茂

王东生

李庆祥

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室

[2] 中国科学院西安光学精密机械研究所

[3] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京

[4] 陕西西安

[5] 北京

来源：

关键词：

相移干涉术; 位相跳变; 相位去包裹;

D O I：

10.16136/j.joel.2003.07.021

中图分类号：

TP391.41 [];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的"拉线"现象,恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌,取得了较好的实验结果。

引用

页码：745 / 748

页数：4