高重复频率飞秒激光烧蚀熔融石英制作单偏振微结构波导

被引：8

作者：

汪月容

李毅

王思佳

何书通

柴路

王清月

胡明列

机构：

[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,光电信息技术科学教育部重点实验室

来源：

中国激光 | 2012年 / 39卷 / 12期

基金：

高等学校博士学科点专项科研基金;

关键词：

激光技术; 飞秒激光微纳加工; 波导; 光子晶体;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

利用中心波长为1040nm、脉宽为190fs、重复频率在200～5000kHz之间可调的飞秒激光对熔融石英进行微加工。研究了烧蚀阈值随脉冲重复频率、扫描速度的变化规律,阐明不同参数下热扩散效应及热累积效应对烧蚀过程的主导作用。在最优化条件下,制作了双线波导,可以对1040nm激光实现圆形基模传输。进一步制作了椭圆晶胞的六角微结构波导,对1040nm激光可以输出近高斯强度分布的基模,模场面积达到247.48μm2。该微结构波导可实现单偏振传输,消光比达9.05,波导数值孔径约0.017。

引用

页码：61 / 66

页数：6

共 4 条

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