未找到相关数据
适于在线测量的激光位移传感器
被引：7
作者：
袁道成
王洋
机构：
[1] 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
[2] 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 绵阳
[3] 绵阳
来源：
关键词：
激光;
位移传感器;
表面纹理;
光学平均;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。
引用
收藏
页码：3 / 6
页数：4
相关论文