相位光栅型波前曲率传感器

被引：18

作者：

习锋杰

许晓军

王铁志

姜宗福

机构：

[1] 国防科技大学光电科学与工程学院

来源：

光学学报 | 2007年 / 02期

关键词：

自适应光学; 波前曲率传感器; 相位型散焦光栅; 波前测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.14 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

研制了一套相位光栅型波前曲率传感器。实验结果表明,相位型散焦光栅能消除零级衍射光的干扰,正负一级衍射光的衍射效率达到49%。用相差板引进波前畸变,进行了波前测量实验。用格林函数算法进行了波前恢复,并和Veeco检测结果进行了比较。制备的光栅型波前曲率传感器测量结果正确,峰谷值存在10%的误差,均方根值存在2%的误差。

引用

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