准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究

被引：6

作者：

谭东晖，陆冬生，宋文栋，范永昌，安承武

机构：

[1] 华中理工大学激光技术国家重点实验室

来源：

关键词：

准分子激光，表面清洗，油脂，硅片;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN240.9 [];

学科分类号：

摘要：

本文报道了采用输出激光波长为３０８ｎｍ，脉冲宽度为２８ｎｓ的准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究，通过改变光束大小或调节激光输出能量来改变基片表面上的激光能量密度，研究激光能量密度对激光清洗效果的影响。从实验中得到硅片的激光清洗阈值为０．２Ｊ／ｃｍ￣２，损伤阈值为１．２Ｊ／ｃｍ￣２。

引用

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