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电子封装塑封材料中水的形态
被引：54
作者：
彩霞
黄卫东
徐步陆
程兆年
机构：
[1] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
来源：
关键词：
塑封材料;
吸水;
分层;
液态水;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305 [半导体器件制造工艺及设备];
学科分类号：
080508 [光电信息材料与器件];
摘要：
利用实验和Fick扩散方程模拟塑封材料对水的吸收过程,得到水汽在塑封材料中的扩散系数和饱和浓度. 塑封材料中的水分子存在于高分子链围成的微孔洞中,并与高分子聚合物以氢键相连. 当塑封材料中水汽浓度达到饱和时,在水分子进入的有效体积内,水汽的密度为标准状态下水蒸气密度的100倍,为液态水密度的8％,这表明在塑封材料中水分子以一种特殊的液态水形态存在. 在一定的水汽浓度下,在界面处的微孔洞中水气液两相共存. 在两相共存的微孔洞中由于水分子争夺高分子的氢键使高分子与芯片表面的二氧化硅层的结合减弱,逐步扩展形成可以观察到的分层.
引用
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页码：507 / 511
页数：5
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