超薄平面结构电涡流传感器的研究

被引：1

作者：

吴桔生

朱长纯

机构：

[1] 西安交通大学电子工程系!西安市

来源：

传感技术学报 | 1995年 / 03期

关键词：

传感器; 电涡流; 微位移;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍用集成电路微细加工技术研制出的一种新型超薄平面结构的电涡流传感器探头.用理论模拟对线圈半径与绕向进行设计,并配制了适宜的二次电路,制造出微位移测试仪样机.同传统结构的电涡流传感器探头相比,灵敏度提高了16%,线性度改善2%.

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