子孔径变换与多孔径扫描拼接技术

被引：6

作者：

程维明

陈明仪

机构：

[1] 上海科技大学应用光学与检测实验室

来源：

光学精密工程 | 1993年 / 01期

关键词：

多孔径; 扫描拼接; 大孔径面形检测;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

多孔径扫描拼接技术是检测高精度大孔径平面面形的有效手段。利用子孔径变换实现多孔径扫描拼接,具有精度高,可靠性好,数据处理简单的特点。本文给出了数学模型,并分析了实测结果。

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共 2 条

[1]

T.Stuhilinger,Proc. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1984

[2]

Weiming Cheng,Proc. Mingyi Chen&. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1991