粒子流特性对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜的影响

被引：4

作者：

姚东升

刘晶儒

俞昌旋

王丽戈

詹如娟

机构：

[1] 中国科学技术大学近代物理系!合肥西北核技术研究所西安

[2] 西北核技术研究所!西安

[3] 中国科学技术大学近代物理系!合肥

来源：

中国科学(A辑) | 2000年 / 05期

关键词：

飞秒脉冲激光; 离子能量和通量; 类金刚石膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

采用两种不同脉宽 ( 30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜 ,通过等离子体发射光谱和离子探针的测量 ,研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化 ,对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结构和性能进行了比较 ,并且研究了激光等离子体特性对淀积薄膜类金刚石性能的影响

引用

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