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相移阴影莫尔轮廓术的相位去包裹处理新技术
被引:6
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
王昭
论文数:
引用数:
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机构:
赵宏
谭玉山
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
西安交通大学
谭玉山
机构
:
[1]
西安交通大学
来源
:
半导体光电
|
1998年
/ 05期
关键词
:
莫尔轮廓术,相移,相位去包裹;
D O I
:
10.16818/j.issn1001-5868.1998.05.018
中图分类号
:
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号
:
070207 ;
0803 ;
摘要
:
文章将相移方法引入传统的阴影莫尔轮廓术中,通过三步相移法得到三维物体的相位分布图。并将原来提出的变精度二次测量相位去包裹方法引伸为更一般、更实用的方法。首次利用改变光源位置实现变精度测量。
引用
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页码:65 / 68
页数:4
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