用于非球面检测的计算全息设计及其精度分析

被引:7
作者
康果果 [1 ]
谢敬辉 [1 ]
刘祎 [2 ]
机构
[1] 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
[2] 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室
关键词
计算全息; 二元光学元件; 菲涅尔波带板; 非球面反射镜;
D O I
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2007.05.001
中图分类号
O438.1 [全息光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
介绍了用于非球面检测计算全息(Computer-generated hologram,CGH)的设计方法和步骤,对CGH位相分布求取、载频选取、CGH与干涉仪配合校准所涉及的关键问题展开了讨论,提出了一些全新的设计理念和方法。从理论上定量分析了CGH片基面型误差、全息图样偏差、刻蚀深度不均匀性和线宽不均匀性对再现波面的影响,得出了相应的误差公式指导计算全息元件加工环节的公差分配。给出了一个设计实例,检测不确定度达到λ/20。
引用
收藏
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共 1 条
[1]  
物理光学教程.[M].谢敬辉;赵达尊;阎吉祥编著;.北京理工大学出版社.2005,