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非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展
被引：18
作者：
包学诚
周志尧
机构：
[1] 上海交通大学!上海
[2] 中国科学院上海光机所!上海
来源：
关键词：
干涉测量;
表面形貌;
表面轮廓;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
080401 [精密仪器及机械];
摘要：
本文简述非接触表面微观形貌测量技术的发展概况，并对几种新型干涉测量仪器的工作原理和结构作了简单介绍。
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