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电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量
被引：5
作者：
陈卓
何威
蒲以康
机构：
[1] 清华大学工程物理系
来源：
基金：
国家自然科学基金重点项目;
关键词：
光谱法;
亚稳态粒子数密度;
电子温度;
ECR等离子体源;
D O I：
暂无
中图分类号：
O562.3 [原子光谱学];
学科分类号：
摘要：
测量了电子回旋共振 (ECR)氩等离子体中Ar的 1s5亚稳态粒子数密度 ,在气压为 0 2— 0 8Pa、功率为 5 0 0—70 0W的范围内 ,利用吸收光谱法测量了Ar原子 811 5nm谱线的吸收强度 ,得到 1s5亚稳态粒子数密度为 1× 10 1 5—4× 10 1 5m- 3.本文综合考虑基态和 1s5亚稳态粒子的激发对Ar发射谱线强度的贡献后 ,用两条发射谱线强度之比得到电子温度 .结果表明 ,计入了 1s5亚稳态激发的贡献后 ,所得到的电子温度与只考虑基态的贡献得到的电子温度相比存在较大的差别 .
引用
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页码：2153 / 2157
页数：5
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