采用微处理器的光栅测长仪

研制成一种以微处理器为核心的,分辨力可达0.1微米的光栅测长仪。软、硬件的使用量都相当节省。进行了误差分析,导得模数变换器的位数影响,光电信号直流电平变动误差的关系式。实践结果表明,这种设计方案对制造质量较差的光栅尺,质量较差的光电信号,均有较好的适应能力。并可预计,这种设计思想,对一切能提供两相正余弦信号的位移编码器,如磁栅,同步感应器、激光干涉仪等都是适用的。